增購設備

新一代立柱式超精密成型磨床SGC-840α, 主要功能是強化模板平行度與平面度加工,尺寸精度可達到 1um, 平面度及平行度分別可達到0.5um 及 1 um, 表面精度更可達到 0.05 um.